触針式膜厚測定方法及び測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-033827
公開番号（公開出願番号）：特開平9-229663
出願日： 1996年02月21日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】試料にたわみを発生させることなく、片面の測定だけで、試料の相対的な厚さの分布のみならず厚さの絶対値を測定することのできる触針式膜厚測定方法及びその装置を提供する。【解決手段】測定試料11を保持して3次元方向に移動可能な試料移動用ステージ15と、固定された固定触針12と、移動触針13と、移動触針を測定試料の厚さ方向に弾性的に支持する支持機構14と、測定試料の厚さ方向に支持機構を移動可能な移動用ステージ16と、固定触針と測定試料との接触を検知する検知機構18と、移動触針の位置を測定する光学的距離測定装置19とを備える。移動触針の支持機構14は、移動触針を、移動触針の移動方向の離れた2ヶ所で、移動方向と直角の方向に略等間隔の角度で支持するそれぞれ3本のワイヤで構成されており、ワイヤの張力は調整可能である。

請求項（抜粋）：

触針を測定試料に接触させて膜厚を測定する触針式膜厚測定方法において、2個の触針を用い、前記測定試料の両面に、前記測定試料を挟んで2個の前記触針の先端を接触させ、2個の前記触針の先端を相互に直接接触させた場合との前記触針の移動距離の差により、前記測定試料の膜厚を測定することを特徴とする触針式膜厚測定方法。

IPC (3件)：

G01B 21/08 , G01B 11/00 , G01B 5/06

FI (3件)：

G01B 21/08 , G01B 11/00 A , G01B 5/06

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