特許

J-GLOBAL ID：200903073593060856

可変容量コンデンサ

発明者： 竹内 雅樹
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-320831
公開番号（公開出願番号）：特開平10-149950
出願日： 1996年11月15日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】 静電容量の可変量が大きい可変容量コンデンサを提供する。【解決手段】 基板1に互いに間隙を介して脚部2a,2bを形成し、脚部2a,2bに掛け渡して支持梁3を形成する。支持梁3から右方向に片持ち梁4を、左方向に片持ち梁5を基板面と間隙を介して伸長形成する。片持ち梁4,5の各基板対向面には可動電極6,7を形成し、基板1には可動電極7に対向する駆動電極11と、可動電極6に対向する駆動電極10と検出電極12とを形成する。駆動電極10,11は支持梁3寄り側に形成し、検出電極12は片持ち梁4の先端側に形成する。可動電極7と駆動電極11間にクーロン力を発生させると片持ち梁5が基板側に変動し、片持ち梁4が持ち上がる。可動電極6と駆動電極10間にクーロン力を発生させると片持ち梁4が基板側に変動する。片持ち梁4の上下変動により可動電極6と検出電極12間の静電容量が可変する。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板に固定され互いに間隙を介して配設される脚部と、これら脚部に掛け渡され上記基板と間隙を介して形成される支持梁と、該支持梁の伸長方向に交差する方向に支持梁から伸長形成され前記基板面と間隙を介して対向配設される第1の片持ち梁と、この第1の片持ち梁と逆側に支持梁から伸長形成され前記基板面と間隙を介して対向配設される第2の片持ち梁と、前記第1の片持ち梁の基板対向面に形成される第1の可動電極と、前記第2の片持ち梁の基板対向面に形成される第2の可動電極と、前記基板に形成され前記第1の可動電極に間隙を介して対向する第1の固定電極と、前記基板に形成され上記第2の可動電極に間隙を介して対向する第2の固定電極とを有し、上記第1の片持ち梁は基端側よりも先端側の梁の幅が狭く形成され、上記第1の固定電極は2分割に分離形成され、これら2分割された固定電極は間隙を介して第1の片持ち梁の基端側から先端側に向かう方向に配列され、第1の片持ち梁の基端側の固定電極は第1の片持ち梁を変動させるための駆動電極と成し、第1の片持ち梁の先端側の固定電極は第1の可動電極との間の静電容量を検出するための検出電極と成しており、前記第2の固定電極は第2の片持ち梁の支持梁寄り側に対向配設されて第2の片持ち梁を変動させるための駆動電極と成している構成としたことを特徴とする可変容量コンデンサ。