特許
J-GLOBAL ID：200903073600429526
積層型圧電素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-057019
公開番号（公開出願番号）：特開平8-252920
出願日： 1995年03月16日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：
【要約】【目的】 完全自動化および薄膜化が容易であり、機械加工をほとんど必要とせずに圧電積層体を得ることができる積層型圧電素子の製造方法を提供する。【構成】 圧電材料粉末および内部電極用金属粉末をスラリー状にしたものをそれぞれ交互にスクリーン印刷しながら積み重ねる工程を用い、機械加工無しに細長い窓部52により内部分割されたアクチュエータ部46を有する積層型圧電素子38を作成できる。更に、スクリーン印刷の版のパターンを変えることにより種々の複雑形状の積層体を容易に得ることが可能である。
請求項（抜粋）：
インクジェット式印字ヘッドのキャビティ内に圧力変動を生じさせ、前記キャビティ内のインクを噴射させる積層型圧電素子の製造方法であって、圧電材料粉末をスラリー状にしたものを用いて、スクリーン印刷により所定形状を有する圧電セラミック層を形成する工程と、導電性ペーストを用いて、スクリーン印刷により所定パターンを有する内部電極層を形成する工程とを有し、上記工程を交互に行って、前記圧電セラミック層と前記内部電極層とを交互に積層した積層体を得ることを特徴とする積層型圧電素子の製造方法。
IPC (5件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/083
, H01L 41/22
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
, H01L 41/08 S
, H01L 41/22 Z
