特許
J-GLOBAL ID：200903073602106325
X線装置のための試料雰囲気調節装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-334028
公開番号（公開出願番号）：特開平8-170948
出願日： 1994年12月16日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：
【要約】【目的】 X線装置に用いられる試料雰囲気調節装置において、試料位置を調節するための機構を簡単且つ小型に形成できるようにし、さらに特定雰囲気内に置かれた試料の位置変動を防止する。【構成】 試料4で回折するX線をX線カウンタによって検出するX線装置に用いられ、試料4のまわりの雰囲気を所望の状態、例えば絶対零度に近い極低温に保持する試料雰囲気調節装置である。この装置は、ケーシングユニット15と試料支持ユニット16の2つのユニットを結合して形成される。試料4を収容する温度調節室RT を極低温に調節する冷媒供給系及び真空排気系はケーシングユニット15側に設けられ、試料4を位置調節のために移動させるX-Yテーブル41及び昇降機構37,38は試料支持ユニット16側に設けられる。
請求項（抜粋）：
試料にX線を照射し、その試料で回折、反射又は散乱するX線をX線検出手段によって検出するX線装置のための試料雰囲気調節装置であって、試料のまわりの雰囲気を所望の状態に保持する試料雰囲気調節装置において、試料を気密に包囲するケーシングと、そのケーシング内の雰囲気を調節する雰囲気調節手段と、そのケーシングから独立して試料を直交3方向のうちの少なくともいずれか1方向へ平行移動させる試料移動手段とを有することを特徴とする試料雰囲気調節装置。
IPC (2件)：
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