加速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-169808
公開番号（公開出願番号）：特開2000-002715
出願日： 1998年06月17日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】センサ自体の設計の自由度を大きくとることができ、高感度で、零加速度から広範囲の測定が可能な加速度センサを提供する。【課題手段】固定部2の内側に固定された鉛直方向に可動する可動部3と、可動部3の中央の上下面に接合された一対の第1の永久磁石5、51と、各々の第1の永久磁石5、51に対向して固定部側に配置されると共に、可動部3の変位による第1の永久磁石5、51からの発生磁界の変化を検出する一対の磁気インピーダンス効果を有する磁気センサ6、61とを備え、磁気センサ6、61の出力変化から加速度を検出する加速度センサ1において、各々の第1の永久磁石5、51と対向する固定部2の背面側に、磁気センサ6、61に印加される磁界の向きが第1の永久磁石5、51から漏洩する磁界の向きに対して逆向きになるようにバイアス用の第2の永久磁石7、71を設けた。

請求項（抜粋）：

固定部の内側に少なくともその一端が固定されると共に鉛直方向に可動する可動部と、前記可動部の中央の上下面に接合された一対の第1の永久磁石と、前記各々の第1の永久磁石に対向して前記固定部側に配置されると共に、前記可動部の変位による前記第1の永久磁石からの発生磁界の変化を検出する一対の磁気インピーダンス効果を有する磁気センサとを備え、前記磁気センサの出力変化から前記第1の永久磁石に印加される加速度を検出する加速度センサにおいて、前記各々の第1の永久磁石と対向する前記固定部の背面側に、前記磁気センサに印加される磁界の向きが前記第1の永久磁石から漏洩する磁界の向きに対して逆向きになるようにバイアス用の第2の永久磁石を設けたことを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/11 , G01R 33/02

FI (2件)：

G01P 15/11 , G01R 33/02 D

Fターム (8件)：

2G017AA02 , 2G017AC08 , 2G017AC09 , 2G017AD21 , 2G017AD53 , 2G017AD55 , 2G017AD69 , 2G017BA11

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