特許
J-GLOBAL ID：200903073603476673
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-171049
公開番号（公開出願番号）：特開平10-022359
出願日： 1996年07月01日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】【課題】 基板搬送時の基板への悪影響を軽減し得る基板搬送装置を提供する。【解決手段】 基板搬送アーム10は基板Wを起立姿勢状態および水平姿勢状態で保持し得るように構成されている。基板保持アーム10はアーム支持台8に対して出退自在に構成され、基板処理部に対する基板Wの受渡しが行える。第2の台座6に対して半円柱状部材7をHJ1軸周りに回転させることで、基板保持アーム10は起立姿勢と水平姿勢とで姿勢転換される。基板保持アーム10はレール2に沿った水平1軸方向の移動や昇降などが可能に構成され、基板処理部間の移動が行える。この基板搬送装置1は、少なくとも各基板処理部間の移動を、基板Wを起立姿勢状態に保持して行う。
請求項（抜粋）：
複数の基板処理部を有する基板処理装置内に備えられ、基板を保持して各基板処理部間で移動するとともに、各基板処理部に対する基板の受渡しを行う基板搬送装置において、基板を起立姿勢状態および水平姿勢状態で保持し得る基板保持アームと、前記基板保持アームを起立姿勢と水平姿勢とで姿勢転換させる姿勢転換手段と、前記基板保持アームを介して各基板処理部に対する基板の受渡しを行う基板受渡し手段と、前記基板保持アームを各基板処理部間で移動させる移動手段と、を備え、少なくとも各基板処理部間の移動を、基板を起立姿勢状態に保持して行うことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/027
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 C
, H01L 21/30 502 J
