特許

J-GLOBAL ID：200903073605402740

液晶表示パネル基板の検査装置

発明者： フランソア ジェイ・ヘンリィ
出願人/特許権者： フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド ,  石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-242372
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264462
出願日： 1992年09月10日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】【目的】 液晶パネル組立前に当該基板における欠陥画素を迅速かつ定量的に把握する。【構成】 電圧制御手段が撮像タイミング毎に電気光学素子と液晶表示パネル基板との間に印加される検査電圧の極性および電圧レベルを制御し、画像入力手段がこの撮像タイミング毎に発生するフレームデータを複数フレーム分蓄積すると共に、ドリフト成分とノイズ成分とを除去した画像データを生成する。この明暗を表わす画像データは、画像処理手段によって電圧値に変換され、これが平滑化されると共に、二値化される。この結果、液晶表示パネル基板における画素の良否が識別され、この二値化された画像データに基づいて抽出処理手段が欠陥画素を抽出し、これをディスプレイ表示する。

請求項（抜粋）：

印加される電界強度に応じて光透過率が変化する電気光学素子と、この電気光学素子の下部に対向配置される液晶表示パネル基板との間に検査電圧を印加すると共に、前記電気光学素子上へ光を照射し、当該電気光学素子の反射光強度に応じて前記液晶表示パネル基板を検査する検査装置において、前記電気光学素子を撮像する撮像手段の撮像タイミングに従って、前記検査電圧の印加極性および電圧レベルを制御する電圧制御手段と、前記撮像タイミング毎に発生するフレームデータを複数フレーム分蓄積すると共に、当該フレームデータのドリフト成分およびノイズ成分を除去する画像入力手段と、前記画像入力手段の出力を電圧値に変換し、この変換された画像データを平滑化すると共に、二値化する画像処理手段と、この二値化された画像データから前記液晶表示パネル基板の欠陥画素を抽出して表示する抽出処理手段とを具備することを特徴とする液晶表示パネル基板の検査装置。

IPC (7件)：

G01N 21/88 ,  G01M 11/00 ,  G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G06F 15/62 405 ,  G09F 9/00 352 ,  H01L 21/66