特許
J-GLOBAL ID:200903073605491084

光偏向装置及び像露光装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-307503
公開番号(公開出願番号):特開2003-114399
出願日: 2001年10月03日
公開日(公表日): 2003年04月18日
要約:
【要約】【課題】 光偏向装置の起動特性を低下させる事なく、高速回転時の回転速度の安定化を達成する光偏向装置及び像露光装置を提供する。【解決手段】 複数の鏡面を側面部に有する回転多面鏡31、回転多面鏡31を保持する保持部材33、保持部材33に固定された磁石34から成るロータユニット300と、ロータユニット300を回転可能に支持する空気動圧軸受と、空気動圧軸受を支持し磁石34に対向配置された巻回コイル46から成るステータユニット400と、を有する光偏向装置において、ロータユニット300の回転により負荷が発生する負荷手段を、ロータユニット300の構成部材に設けた光偏向装置30。
請求項(抜粋):
複数の鏡面を側面部に有する回転多面鏡、該回転多面鏡を保持する保持部材、該保持部材に固定された磁石から成るロータユニットと、該ロータユニットを回転可能に支持する空気動圧軸受と、該空気動圧軸受を支持し前記磁石に対向配置された巻回コイルから成るステータユニットと、を有する光偏向装置において、前記ロータユニットの回転により負荷が発生する負荷手段を、前記ロータユニットの構成部材に設けたことを特徴とする光偏向装置。
IPC (2件):
G02B 26/10 102 ,  B41J 2/44
FI (2件):
G02B 26/10 102 ,  B41J 3/00 D
Fターム (7件):
2C362BA05 ,  2C362BA10 ,  2C362BA83 ,  2H045AA02 ,  2H045AA56 ,  2H045CB61 ,  2H045DA41

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