特許
J-GLOBAL ID：200903073620575898
スニッファー用ヘリウムリークディテクタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-280887
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145835
出願日： 1994年11月15日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】 スニッファープローブを吸引量の異なるものに交換しても、精度の高い漏れ量の測定を行なえるヘリウムリークディテクタを提供することを目的としている。【構成】 質量分析管1と、質量分析管1に吸気部が接続されたターボ分子ポンプ2と、ターボ分子ポンプ2の排気部に吸気部が接続されたロータリーポンプ5とターボ分子ポンプ2の排気部とロータリーポンプ5の吸気部の間の接続用配管30の分岐部31に接続管32a、32bを介して接続されたスニッファープローブを備えている。そして更に、接続用配管30内の圧力を計測するピラニーゲージ4と、ピラニーゲージ4で計測した圧力と質量分析管1で検出したイオン電流値から漏れ量を演算する手段を備えている。
請求項（抜粋）：
質量分析管と、質量分析管に吸気部が接続された二次ポンプと、二次ポンプの排気部に吸気部が接続された一次ポンプと、二次ポンプの排気部と一次ポンプの吸気部の間の接続用配管の分岐部に接続管を介して接続されたスニッファープローブを備えたスニッファー用ヘリウムリークディテクタにおいて、前記接続配管内の圧力を計測する圧力計を備えると共に、圧力計の出力と、前記質量分析管で検出したイオン電流値とから漏れ量を演算する手段を備えていることを特徴とするスニッファー用ヘリウムリークディテクタ。
IPC (3件)：
G01M 3/20
, G01N 27/62
, H01J 49/24
