特許

J-GLOBAL ID：200903073625373096

レーザの安全装置

発明者： 尾崎 隆志 ,  沢田 昌宏
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-310503
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166802
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】 レーザ光を利用した装置の、セーフティインタロック機構を解除した時、一定時間後にセーフティインタロック機構の作動を再開させることにより、解除したことを忘れたために発生する、作業者への高レベルレーザ光による被ばく事故の発生を、防止する。【構成】 アクセスパネル6の開閉に応じてレーザの出射を遮断するセーフティインタロック機構19と、セーフティインタロック機構19の動作を解除する解除機構8とを有する安全装置において、解除機構8によってセーフティインタロック機構19の動作を解除したとき、一定時間後に、セーフティインタロック機構19の動作を再開させる復帰機構20を設ける。

請求項（抜粋）：

アクセスパネルの開閉に応じてレーザの出射を遮断するセーフティインタロック機構と、前記セーフティインタロック機構の動作を解除する解除機構とを有する安全装置において、前記解除機構によって前記セーフティインタロック機構の動作を解除したとき、一定時間後に、前記セーフティインタロック機構の動作を再開させる復帰機構を設けたことを特徴とする安全装置。

IPC (3件)：

G05B 9/02 ,  H01S 3/09 ,  H01S 3/097

FI (2件)：

H01S 3/09 Z ,  H01S 3/097 Z