特許

J-GLOBAL ID：200903073638574732

研磨パッドのドレッシング装置

発明者： 甘利 昌彦 ,  斉藤 隆穂 ,  宮地 計二 ,  清家 善之 ,  土肥 俊郎
出願人/特許権者： 旭サナック株式会社 ,  土肥 俊郎
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-009622
公開番号（公開出願番号）：特開平10-202502
出願日： 1997年01月22日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】研磨パッドの表層から深層まで研磨屑を残すことなく洗浄することができる、研磨パッドのドレッシング装置を提供する。【解決手段】狭い領域に集中して洗浄液を噴射する、掘り起こし用のノズル12と、広い領域に分散して洗浄液を噴射する、洗い流し用のノズル14とを設ける。ノズル12から噴射された洗浄液は、研磨パッドの深層にまで達して、研磨パッド50内部に蓄積した研磨屑を研磨パッド50の表層に浮き上がらせる。ノズル14から噴射された洗浄液は、研磨パッド50の表層に流れを形成して、研磨パッド50の表層に浮き上がってくる研磨屑を洗い流す。

請求項（抜粋）：

研磨装置の研磨パッドに洗浄液を噴射して研磨パッドをドレッシングする、研磨パッドのドレッシング装置において、掘り起こし用の第1のノズルと、洗い流し用の第2のノズルとを設け、前記第1のノズルから噴射される洗浄液によって、前記研磨パッド内部に蓄積した研磨屑を研磨パッド表層に浮き上がらせ、前記第2のノズルから噴射される洗浄液によって、研磨パッド表層に浮き上がった研磨屑を洗い流すようにしたことを特徴とする研磨パッドのドレッシング装置。