特許
J-GLOBAL ID:200903073640767297
熱電変換デバイス及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡辺 三彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-231991
公開番号(公開出願番号):特開2002-050801
出願日: 2000年07月31日
公開日(公表日): 2002年02月15日
要約:
【要約】【課題】 出力電圧が大きい熱電変換デバイス及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板2と、この基板2上に互いに間隔を開けて立設され、直列に接続された複数の熱電対3とを備えた熱電変換デバイス1。熱電対3を、基板2上に固定された水平部4と、この水平部4の側端4aに基端5aが屈曲自在に連結された垂直部5とからL字形に形成した。基板2上にガラス層7を形成し、このガラス層7上に、少なくとも1層の金属膜8,9を介して屈曲自在に連結された水平部4と垂直部5とから構成され、直列に接続された複数の熱電対3を基板2に対して平行に形成し、水平部4と基板2との間の所定範囲を残してガラス層7を除去した後、垂直部5を基板2に対してそれぞれ垂直に折曲する熱電変換デバイス1の製造方法。
請求項(抜粋):
基板と、この基板上に互いに間隔を開けて立設され、直列に接続された複数の熱電対とを備えたことを特徴とする熱電変換デバイス。
IPC (4件):
H01L 35/32
, G01K 7/02
, H01L 35/00
, H01L 35/34
FI (4件):
H01L 35/32 A
, G01K 7/02 A
, H01L 35/00 Z
, H01L 35/34
Fターム (3件):
2F056KA01
, 2F056KA12
, 2F056KA14
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