特許

J-GLOBAL ID：200903073641774750

ダイシング装置

発明者： 上村 芳久
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-350703
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168067
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 スピンナー洗浄後の半導体チップに静電気不良(静電気痕)が生じないようなスピンナー洗浄部を備えたダイシング装置を提供する。【解決手段】 本スピンナー洗浄部20は、ターンテーブル22、ターンテーブルを回転させる回転軸24及び洗浄液ノズル管を備える。ターンテーブルは、上面の中央にイオンブロー部26を有し、イオンブロー部の周囲にイオンブロー部より1段高い段差を成したリング状の真空吸着部28を有する。ターンテーブルは、発泡性ステンレス鋼で形成され、中央に凹部を有し、表面は真空吸着部を除いて封止され、下面に接続された真空吸引管32を介して真空吸引装置に接続される。イオンブロー部は、凹部の下半分を埋めるように形成された円板状部材34内を貫通し、上面に複数個の開口36を備えたイオン気流分散管38を有する。イオン気流分散管は、回転軸及びターンテーブルの底部を貫通するイオン気流供給管40を介してイオン気流を発生させるイオナイザーに接続される。

請求項（抜粋）：

ダイシングテープに付着したウエハをダイシングして半導体チップ毎に切断し、次いで切断された各半導体チップを付着させたダイシングテープをスピンナー洗浄部のターンテーブル上に保持し、回転させつつ洗浄水を散水して、半導体チップを洗浄するようにした、ダイシング装置において、スピンナー洗浄部のターンテーブルが、その上面に、イオンを同伴した気流を上方に向け噴出する開口を備えたイオンブロー部と、イオンブロー部の周囲にイオンブロー部より高い段差を成して形成された真空吸着部とを備えることを特徴とするダイシング装置。

IPC (3件)：

H01L 21/301 ,  H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 651

FI (4件)：

H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/304 651 A ,  H01L 21/78 P ,  H01L 21/78 M