特許
J-GLOBAL ID：200903073649658261
ウェハ搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-249546
公開番号（公開出願番号）：特開平6-135506
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：
【要約】【構成】半導体製造装置の特にウェハ処理装置に接続して使用されるウェハ搬送装置において、ウェハ間隔より充分小さい光束と受光器より成るウェハ検出系と、該検出系とカセット(ウェハ)を相対移動する手段を有し、該ウェハがカセットに正しく設置されていることを検出し、かつウェハの相対位置を検出して搬送アームの出入位置を制御するように構成されている。【効果】ウェハ検出系にレーザを使用し、かつ位置検出機能を有するカセット昇降動機構により、ウェハカセット内のウェハの搬入出動作を確実に行うことができ信頼性向上の効果が有る。
請求項（抜粋）：
ウェハカセットよりウェハを出し入れするウェハ搬送装置においてカセット内のウェハ間隔より充分小さい検出光光束と受光器より成るウェハ検出系と、該検出系とカセット(ウェハ)を相対移動する手段を有し、該ウェハがカセットに正しく設置されていることを検出して搬送制御するように構成されていることを特徴とするウェハ搬送装置。
IPC (4件)：
B65G 1/00
, B65G 49/07
, B65H 7/14
, H01L 21/68
