特許
J-GLOBAL ID:200903073652812000

顕微鏡の自動合焦調整装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 竹内 進 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-298627
公開番号(公開出願番号):特開平5-188275
出願日: 1991年11月14日
公開日(公表日): 1993年07月30日
要約:
【要約】【目的】 より高精度で自動的に合焦調整を行う顕微鏡の自動合焦調整装置を提供することを目的とする。【構成】 光学系と被検物の間隔を自動的に制御しつつ被検物の拡大映像を撮像し、光学系と被検物の間隔を自動的に変化させる毎に、画像信号から各輝度レベルに対する画素数のヒストグラムを求め、更に輝度レベルを基準とする1又は2以上のしきい値で分割される該ヒストグラムの分割範囲毎の輝度レベルに対する画素数の平均値及び分散値を演算し、夫々の分散値の和(評価値)が最小値となるときに上記光学系と被検物の間隔が合焦状態であると判断して、光学系と被検物の間隔を自動的に該合焦状態に設定するように制御する。
請求項(抜粋):
光学系と被検物の間隔を自動的に制御する駆動手段と、該光学系を介して得られる被検物の拡大映像を撮像する撮像手段と、光学系と被検物の間隔を自動的に変化させる毎に、該撮像手段によって得られる画像信号から各輝度レベルに対する画素数のヒストグラムを求め、更に、輝度レベルを基準とする1又は2以上のしきい値で分割される該ヒストグラムの分割範囲毎の輝度レベルに対する画素数の平均値及び該平均値に対する分散値を演算し、夫々の分散値の和が最小値となるときに上記光学系と被検物の間隔が合焦状態であると判断して、光学系と被検物の間隔を自動的に該合焦状態に設定するように上記駆動手段を制御する制御手段と、を具備することを特徴とする顕微鏡の自動合焦調整装置。
IPC (3件):
G02B 7/28 ,  G06F 15/62 380 ,  G06F 15/64 325

前のページに戻る