特許

J-GLOBAL ID：200903073656635773

多孔質ケイ素酸化物膜の製造方法

発明者： 井岡 崇明 ,  田辺 恒彰
出願人/特許権者： 旭化成工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-313667
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158011
出願日： 1996年11月25日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】【課題】 基板上に強固に密着し、クラックや剥離等の欠陥のない多孔質ケイ素酸化物膜の簡便な製造方法を提供する。【解決手段】 アルコキシシランと、アミド結合を含有する有機ポリマー、水、触媒を混合した後に、予め密着向上剤で表面を処理した基板上に膜状に塗布し、加水分解、脱水縮合して得られた乾燥ゲルから有機ポリマーを除去させる。

請求項（抜粋）：

アルコキシシランと、アミド結合を含有する有機ポリマー、水、触媒を混合した後に、予め密着向上剤で表面を処理した基板上に膜状に塗布し、加水分解、脱水縮合して得られた乾燥ゲルから有機ポリマーを除去することを特徴とする多孔質ケイ素酸化物膜の製造方法。

IPC (2件)：

C01B 33/12 ,  C04B 38/06

FI (2件)：

C01B 33/12 D ,  C04B 38/06 G