特許

J-GLOBAL ID：200903073657015663

赤外線センサを有するワークピース処理装置および方法

発明者： ジェームズ・アンソニー・オニール ,  マイケル・レーン・パッソウ ,  ティナ・ジェーン・コトラー ,  ジョナサン・ダニエル・チャップル-ソコル ,  リチャード・アンソニー・コンティ ,  ジョイシ・シン
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-256993
公開番号（公開出願番号）：特開平7-188932
出願日： 1994年10月21日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：

【要約】【目的】 製造パラメータを最適化するために経験的なテストを必要としないCVDまたはエッチング装置を提供する。【構成】 ワークピース上の層を処理する装置は反応液体源、ワークピース用の支持体を有する反応室、及び流入流体を反応室中へ給送する流体送出装置を含んでおり、流入流体を材料の処理に利用する。赤外線センサが流入流体の成分の濃度を感知するために、流体送出装置と協働するようになされている。赤外線センサは赤外線ビームを流入流体を通して赤外線検出器に送るように配置された赤外線源を含んでいる。赤外線検出器は検出器が受け取り、したがって流入流体によって吸収されない光の量を示す電気出力信号を発生する。

請求項（抜粋）：

反応物源と、ワークピースを支持するための手段を含んでいる反応室と、材料を処理するために利用される流入流体を前記反応室へ給送するための流体送出手段であって、前記反応物源と連通している第1導管と前記反応室と連通している第2導管を含んでいる流体送出手段と、前記第1及び第2導管の間に、これらと連通して直列に接続された、前記流入気体の濃度を感知するための赤外線センサであって、赤外線光源と赤外線検出器を含んでおり、該赤外線光源が前記流入気体を通して前記赤外線検出器へ赤外線ビームを送るように配置されており、前記赤外線検出器がその受け取った赤外線の量を示す電気出力信号を発生するための手段を含んでいる赤外線センサとからなるワークピース処理装置。

IPC (8件)：

C23C 16/52 ,  C23C 16/44 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31 ,  G01N 21/33 ,  H01L 31/00

FI (3件)：

H01L 21/302 F ,  H01L 21/31 C ,  H01L 31/00 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 化学気相成長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-293174   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平2-229793
  
• 特開平4-225142