特許

J-GLOBAL ID：200903073660377690

インパクト駆動型アクチュエータ

発明者： 三輪 聡
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-067920
公開番号（公開出願番号）：特開平8-266073
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】 小型化を図ることができ、外形寸法に関する制限を可及的除去でき、さらに2次元的,3次元的な移動を行うことができるインパクト駆動型アクチュエータを提供する。【構成】 中空構造の相対運動部材11と,相対運動部材11の内部に設置される電気機械変換素子12と,電気機械変換素子12の他端に取り付けられて相対運動部材11の内部に設けられる慣性体14とを備えるインパクト駆動型アクチュエータ10である。電気機械変換素子12及び慣性体14を相対運動部材11に内蔵するため、小型化及び外形寸法の自由度拡大を図り、相対運動部材11の移動ステップ量の誤差を低減する。さらに、電気機械変換素子12及び慣性体14を複数組設けることで、2次元的,3次元的な移動も可能とする。

請求項（抜粋）：

中空構造の相対運動部材と,一端が前記相対運動部材の内部に設置され、印加電圧により励振する電気機械変換素子と,前記電気機械変換素子の他端に取り付けられて前記相対運動部材の内部に設けられ、前記電気機械変換素子の駆動により前記相対運動部材に衝撃力を与える慣性体とを備えることを特徴とするインパクト駆動型アクチュエータ。