位置合わせ方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-243133
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092591
出願日： 1995年09月21日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 FIA方式(撮像方式)のようなアライメントセンサを使用して位置合わせを行う場合に、スループットを大きく低下させることなく、位置合わせ精度を向上する。【解決手段】 1ロット内の複数のウエハに対してFIA系、及びLIA系を用いてEGA方式のアライメントを行い、オフセットについて両方式で求めたパラメータの差Siの平均値Sm、及び標準偏差Svを求め(ステップ104〜106)、オフセットについてはLIAパラメータ、それ以外のパラメータについてはFIAパラメータを使用して位置合わせを行う(ステップ107,108)。標準偏差Svが許容値SL以下になってからは、FIA系のみを用いてEGA方式のアライメントを行い、オフセットについてはFIAパラメータを記憶してある平均値Smで補正する(ステップ114,115)。

請求項（抜粋）：

N枚(Nは3以上の整数)の基板に対して、順次前記基板上の複数のショット領域から選択された計測ショットの計測された配列座標に基づいて、前記複数のショット領域のそれぞれを所定の基準位置に位置決めする位置合わせ方法において、前記N枚の基板の最初の基板より順次2つのアライメントセンサを用いて前記計測ショットの座標位置を計測し、それぞれのアライメントセンサによる計測値の差のばらつきを求め、J枚目(Jは1以上で(N-1)以下の整数)までの基板についての前記2つのアライメントセンサの計測値の差のばらつきが所定の許容値以下になったときに、(J+1)枚目以降の基板については前記2つのアライメントセンサの内の一方の計測値、及びそれまでに求められた前記2つのアライメントセンサの計測値の差に基づいて前記複数のショット領域の位置決めを行うことを特徴とする位置合わせ方法。

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