特許
J-GLOBAL ID:200903073669091055

X線透過検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-166580
公開番号(公開出願番号):特開2000-356604
出願日: 1999年06月14日
公開日(公表日): 2000年12月26日
要約:
【要約】【課題】 比較的低コストな構成でもって、サイズの異なる被検査物体のX線透過光像を常に撮像素子の最大分解能で観察できるようにする。【解決手段】 被検査物体を透過したX線を蛍光板などのX線感像面に投影してX線透過光像を作像させるとともに、この透過光像を撮像素子上に結像させて撮像するX線透過検査装置であって、上記X線感像面と上記撮像素子の位置関係を固定したままで上記透過光像の縮小倍率を変化させる光学手段を備える。
請求項(抜粋):
被検査物体を透過したX線を蛍光板などのX線感像面に投影してX線透過光像を作像させるとともに、この透過光像を撮像素子上に結像させて撮像するX線透過検査装置であって、上記X線感像面と上記撮像素子の位置関係を固定したままで上記透過光像の縮小倍率を変化させる光学手段を備えたことを特徴とするX線透過検査装置。
IPC (2件):
G01N 23/04 ,  G01B 15/00
FI (2件):
G01N 23/04 ,  G01B 15/00 A
Fターム (22件):
2F067AA03 ,  2F067AA51 ,  2F067EE04 ,  2F067HH04 ,  2F067KK01 ,  2F067KK06 ,  2F067LL16 ,  2F067RR35 ,  2F067UU32 ,  2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001FA06 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001JA13 ,  2G001MA05 ,  2G001SA02

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