特許
J-GLOBAL ID：200903073676087560
ワークのアライメント装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯田 昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-146229
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335420
出願日： 1997年06月04日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 コンパクトな構成で省スペース化を図り、しかもタクトタイムを短縮するとともに確実にガラス基板の位置検出ができるワークのアライメント装置を提供すること。【解決手段】 アライメント装置Mは、架台1上に配置されガラス基板Wが収納されるカセット3と、ガラス基板Wを吸着し次工程カセット15に搬送するロボット5とを有している。ロボット5のハンド7にはカセット3に収納されたガラス基板Wの前端面に対して略平行に2個の第1位置センサ11が配置され、ロボット5の近傍に架台1上に支持された第2位置センサ13が配設されている。ハンド7はガラス基板Wをカセット3内から取り出し、次工程カセット15に搬送する際、2個の第1位置センサ11によって検出されたガラス基板W前端縁W1の位置ずれ量を角度補正し、第2位置センサ13によって検出されたガラス基板Wの側端縁W2の位置ずれ量をロボット5のレール10上での摺動移動により補正する。
請求項（抜粋）：
カセットに収納される薄型状のワークを吸着し位置合わせした後、次工程のカセットに搬送するワークのアライメント装置であって、架台上に配設されるカセットと、前記架台上に設置されたレール上に摺動可能に配設され、前記ワークを吸着して搬送するロボットハンドを備えるロボットと、前記ロボットハンドに、前記ワークの前端面に対して略平行に少なくとも2か所に配置されそれぞれ前記ワーク前端縁の位置を検出する第1位置センサと、前記架台上に前記ロボットの近傍に配置され、前記ワーク側端縁位置を検出する第2位置センサと、前記第1及び第2位置センサからの信号を入力し、前記ロボットに信号を出力する制御装置と、を備え、前記ロボットハンドが、前記ワークの下方の所定の吸着位置まで前進移動する工程と、その後上昇してワークを吸着する工程と、その後前記ロボットの機台上に後退移動する工程と、その後前記ロボットとともに前記レール上を摺動移動する工程と、その後次工程のカセットにワークを搬送する工程と、を経てワークを次工程カセット内に収納するように制御され、前記ロボットハンドが前記ワークの下方の所定の吸着位置に達するまでに、前記第1位置センサが前記ワークの前端縁を検出し、前記ロボットハンドが前記ロボットとともに前記レール上を摺動移動する際、前記第2位置センサが前記ワーク側面端縁を検出し、前記ハンドが前記次工程カセットにワークを搬送する際、前記制御装置によって、前記ワークを正規の位置に位置合わせするように前記ハンドが補正されることを特徴とするワークのアライメント装置。
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 F
