ガラス-セラミックス複合体およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小松秀岳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-295207
公開番号（公開出願番号）：特開平7-149539
出願日： 1993年11月25日
公開日（公表日）： 1995年06月13日
要約：

【要約】【目的】 1200°C以下の低温焼結性、7以下の低誘電率と20W/mK以上の高熱伝導率、20kg/mm2以上の高強度を合わせ持ち、かつピール強度が高く信頼性の高い半導体素子搭載用の基板材料を提供することを目的とする。【構成】窒素を0.1wt%以上10wt%以下含むオキシナイトライドガラス中に窒化物セラミックス粒子が分散されているガラス-セラミックス複合体および酸化物ガラス原料粉末を窒素雰囲気中300°C以上800°C以下で処理して0.1wt%以上10wt%以下の窒素元素を含有させたオキシナイトライドガラス粉末と、pH5〜10の水で水洗あるいは煮沸した窒化物セラミックス粉末との混合物を所定形状に成形してなる成形体を800°C以上1200°C以下で焼結することを特徴とするガラス-セラミックス複合体の製造方法。

請求項（抜粋）：

窒素を0.1wt%以上10wt%以下含むオキシナイトライドガラス中に窒化物セラミックス粒子が分散されていることを特徴とするガラス-セラミックス複合体。

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