特許

J-GLOBAL ID：200903073679301988

拡大光学系

発明者： 大瀧 達朗
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-040902
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230249
出願日： 1996年02月28日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】対物レンズによる中間像を良好な結像性能のもとで拡大し、中間像位置に配置されるスケール等を良好に写し込むことができ、かつ低コスト化を図る。【解決手段】対物レンズにより形成される中間像を拡大倍率のもとで再結像させる拡大光学系は、対物レンズ側から順に、正の焦点距離f1を有する第1群と、負の焦点距離を有する第2群と、正の焦点距離f3を有する第3群とから構成され、拡大光学系の焦点距離をfとし、中間像から第1群中の最も対物レンズ側のレンズ面までの距離をD0とし、拡大光学系の横倍率をBとするとき、0.08<D0/f<0.15(f>0)|B|<3.0, |f1|>|f2|, |f2|<|f3|の条件を満足するものである。

請求項（抜粋）：

対物レンズにより形成される中間像を拡大倍率のもとで再結像させる拡大光学系において、前記対物レンズ側から順に、正の焦点距離f1を有する第1群と、負の焦点距離を有する第2群と、正の焦点距離f3を有する第3群とから構成され、前記拡大光学系の焦点距離をfとし、前記中間像から前記第1群中の最も対物レンズ側のレンズ面までの距離をD0とし、前記拡大光学系の横倍率をBとするとき、0.08<D0/f<0.15(f>0)|B|<3.0|f1|>|f2||f2|<|f3|の条件を満足することを特徴とする拡大光学系。

IPC (2件)：

G02B 21/02 ,  G02B 25/00

FI (2件)：

G02B 21/02 A ,  G02B 25/00 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭58-087524
  
• 特開昭58-192012
  
• 特公昭57-052568