静電力を用いた流体噴射装置及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-324562
公開番号（公開出願番号）：特開2000-185402
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：

【要約】【課題】応答性の速い静電力を用いた流体噴射装置を提供する。【解決手段】本発明の流体噴射装置は下部電極、メンブレイン、噴射流体を収める噴射流体室及びノズルを持った流体噴射装置において、前記メンブレインと下部電極との間に静電力を発生させることによって、前記噴射流体室内部の流体に駆動力を加えて所定量の流体をノズル外へ噴射させる駆動力印加手段とを含む。駆動力印加手段は所定間隔に対向された上部及び下部電極を有する。上部電極は前記噴射流体室の下面をなすメンブレインの内部に設けられる。これによれば、上部及び下部電極間から発生される静電力で上部電極が上下に変位されることによりメンブレインが駆動され、噴射流体室内の流体に駆動力を加えて流体がノズルを通じて噴射される。

請求項（抜粋）：

下部電極、メンブレイン、噴射される流体が収まっている噴射流体室及びノズルを有する流体噴射装置において、前記メンブレインと前記下部電極を備え、前記メンブレインと下部電極との間に静電力を発生させることによって、前記噴射流体室内部の流体に駆動力を加えて所定量の流体をノズル外へ噴射させる駆動力印加手段を含むことを特徴とする静電力を用いた流体噴射装置。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (1件)

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公報種別：公開公報出願番号：特願平7-095708 出願人：セイコーエプソン株式会社

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