特許
J-GLOBAL ID：200903073679691182
ワーク洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-172223
公開番号（公開出願番号）：特開平5-015858
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】洗浄剤を含む洗浄液を用いて効率良くプリント基板などのワークを洗浄すると共に、排水量を増加させることなく、ワークに付着した洗浄液を効率良く洗い落とすことの可能なワーク洗浄装置を実現することを目的としている。【構成】洗浄液中に浸漬された状態のワークに対して洗浄液を噴射することによって、ワークを洗浄する。洗浄液中からワークを引き上げる際には、空気をワークに吹きつけて、そこに付着している洗浄液を吹き落とす。次に純水中にワークを浸漬して、純水をそれに向けて噴射することによってワークを洗浄する。ここで、純水は再生して再使用される。次に、新たな純水中にワークを浸漬することによりワークを洗浄する。純水中から引き上げる際にも、空気をワークに吹きつけて、そこに付着している水を吹き落とす。この後、ワークを乾燥させる。
請求項（抜粋）：
ワーク洗浄剤を含む洗浄液を貯留した洗浄液槽、この洗浄液槽に対してワークを出し入れするワーク搬送手段、および、このワーク搬送手段によって前記洗浄液槽内に入れられた状態にあるワークに対して洗浄液の噴流を吹きつける噴流形成手段を備えたワーク洗浄部と、純水を貯留した純水槽、および前記ワーク洗浄部から洗浄済みワークを受け取り、前記純水槽に対してこのワークを出し入れするワーク搬送手段を備えた少なくとも一つの予備リンス部と、純水を貯留した純水槽、前記予備リンス部から純水による洗浄済みワークを受け取り、前記純水槽に対してこのワークを出し入れするワーク搬送手段と、を少なくとも備えるリンス部と、を有し、前記予備リンス部は、その前記純水槽を介して純水を循環させる純水循環手段と、この手段により形成される前記純水槽への純水循環経路に配置され、循環する純水に含まれている不純物を除去する純水再生手段を備えていることを特徴とするワーク洗浄装置。
IPC (4件)：
B08B 3/04
, C23G 5/00
, H01L 21/304 341
, H05K 3/26
