特許
J-GLOBAL ID：200903073681782837
圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-180753
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009567
出願日： 1998年06月26日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 圧力検出用の4つの拡散ゲージで構成されるブリッジ回路から出力されるオフセット電圧を小さくする。【解決手段】 ブリッジ回路を構成する4つの拡散ゲージ41a〜41dのうち、アース側の2つの拡散ゲージ41c、41dに複数の調整用抵抗46a〜46fを直列に接続し、これら複数の調整用抵抗46a〜46fのそれぞれの間にワイヤボンディング用のパッド43d〜43jを接続した。そして、パッド43a〜43jを順次アース電位にしていき、パッド43b、43c間の電位を測定して、オフセット電圧が最も小さくなるパッドを決定し、それを電源部72のパッド72bとワイヤボンディングすれば、ブリッジ回路から出力されるオフセット電圧を小さくすることができる。
請求項（抜粋）：
シリコン基板に4つの拡散ゲージ(41a〜41d)を形成し、それらをブリッジ回路を構成するように結線して、前記ブリッジ回路から圧力に応じた電気信号を出力させるようにした圧力センサにおいて、前記4つの拡散ゲージ(41a〜41d)のうち前記ブリッジ回路の電源側若しくはアース側の2つの拡散ゲージ(41c、41d)に複数の調整用抵抗(46a〜46f)を直列に接続し、前記複数の調整用抵抗(46a〜46f)のそれぞれの間にワイヤボンディング用のパッド(43d〜43j)を接続したことを特徴とする圧力センサ。
Fターム (8件)：
2F055AA39
, 2F055CC02
, 2F055DD01
, 2F055DD05
, 2F055EE14
, 2F055FF11
, 2F055FF43
, 2F055GG11
