特許

J-GLOBAL ID：200903073682420602

電気光学装置の製造方法及び電気光学装置用の駆動基板の製造方法

発明者： 山中 英雄 ,  矢元 久良 ,  佐藤 勇一 ,  矢木 肇
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-282586
公開番号（公開出願番号）：特開2000-111948
出願日： 1998年10月05日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 高い電子/正孔移動度の単結晶シリコン薄膜を比較的低温でかつ均一に成膜して、高性能ドライバ内蔵のアクティブマトリクス基板と、これを用いた表示用薄膜半導体装置等の電気光学装置の製造方法を提供する。【解決手段】 基板1に形成した段差4をシードにして多結晶シリコン等を溶解した低融点金属層6からグラフォエピタキシャル成長により単結晶シリコン層7を形成し、この単結晶シリコン層7を表示部-周辺駆動回路一体型のLCDなどの電気光学装置のボトムゲート型MOSTFTに用いる。

請求項（抜粋）：

画素電極が配された表示部と、この表示部の周辺に配された周辺駆動回路部とを第1の基板上に有し、この第1の基板と第2の基板との間に所定の光学材料を介在させてなる電気光学装置の製造方法において、前記第1の基板の一方の面上にゲート電極とゲート絶縁膜とからなるゲート部を形成する工程と、前記第1の基板の前記一方の面上に段差を形成する工程と、前記段差及び前記ゲート部を含む前記第1の基板上に多結晶又はアモルファスシリコン層を所定厚さに形成した後に前記第1の基板上であって前記多結晶又はアモルファスシリコン層上又は下に低融点金属層を形成するか、或いは、前記段差を含む前記第1の基板上にシリコンを含有する低融点金属層を形成する工程と、加熱処理によって前記多結晶又はアモルファスシリコン層又は前記低融点金属層のシリコンを前記低融点金属層に溶解させる工程と、次いで冷却処理(望ましくは徐冷処理)によって前記第1の基板上に、多結晶又はアモルファスシリコン層のシリコン又は前記低融点金属層のシリコンを前記段差をシードとしてグラフォエピタキシャル成長させ、単結晶シリコン層を析出させる工程と、この単結晶シリコン層に所定の処理を施してチャンネル領域、ソース領域及びドレイン領域を形成する工程と、前記チャンネル領域の下部に前記ゲート部を有し、前記周辺駆動回路部の少なくとも一部を構成するボトムゲート型の第1の薄膜トランジスタを形成する工程とを有することを特徴とする、電気光学装置の製造方法。

IPC (5件)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 505 ,  G09F 9/30 343 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (6件)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 505 ,  G09F 9/30 343 Z ,  H01L 29/78 612 B ,  H01L 29/78 617 N ,  H01L 29/78 627 G

Fターム (92件)：

2H092JA02 ,  2H092JA24 ,  2H092JA25 ,  2H092JA26 ,  2H092JA27 ,  2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092JB52 ,  2H092JB69 ,  2H092KA03 ,  2H092KA04 ,  2H092KA05 ,  2H092MA05 ,  2H092MA06 ,  2H092MA07 ,  2H092MA15 ,  2H092MA22 ,  2H092MA29 ,  2H092MA30 ,  2H092NA05 ,  2H092NA07 ,  2H092NA19 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA01 ,  2H092PA08 ,  2H092QA07 ,  2H092QA08 ,  2H092QA10 ,  2H092QA11 ,  2H092QA13 ,  2H092QA14 ,  2H092QA15 ,  5C094AA05 ,  5C094AA13 ,  5C094AA14 ,  5C094AA25 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094DA09 ,  5C094DA13 ,  5C094GB01 ,  5F110AA06 ,  5F110AA08 ,  5F110AA09 ,  5F110AA18 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110CC08 ,  5F110DD21 ,  5F110EE03 ,  5F110EE06 ,  5F110EE23 ,  5F110EE28 ,  5F110EE30 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110GG24 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG34 ,  5F110GG52 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL06 ,  5F110HL23 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN25 ,  5F110NN44 ,  5F110NN46 ,  5F110NN47 ,  5F110NN54 ,  5F110PP02 ,  5F110PP34 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ19