特許
J-GLOBAL ID:200903073684076682

光学式エンコーダ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 早瀬 憲一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-111678
公開番号(公開出願番号):特開平9-113316
出願日: 1996年05月02日
公開日(公表日): 1997年05月02日
要約:
【要約】【課題】 光利用効率が高く、かつ格子ピッチに対して分解性能が高い、精度の良い信号を得ることができる光学式エンコーダを提供する。【解決手段】 互いに対向する第1,第2の回折格子4、及び6a〜6dを用い、両回折格子での回折の次数の和が0である軸上干渉光と、該和が0でない数となる軸外干渉光とを生じさせ、かつ各受光部7a〜7fにおける軸上干渉光と、軸外干渉光との位相を、分割された回折格子6a〜6d間の位置を互いに1/4ピッチずらせて、1/2周期の信号の変化を発生させることにより、1つの受光部に入射する位置にて一致させ、それらの光強度の変化を等しくして、信号の打ち消し合いを防く。また、光源の波長λ、格子ピッチp、格子幅D、分割数N(Nは2以上の整数)とし、受光部7a〜7fと回折格子6a〜6dとの距離Lを、{p×D/(2×N×λ)}の整数倍に、に設定する。
請求項(抜粋):
光源と、少なくとも互いに対向する第1、及び第2の回折格子を備え、上記光源からの光を、該第1、及び第2の回折格子の両者を通過せしめて各々でそれぞれ特定次数の回折光を生じさせ、かつ両回折格子を通過後の上記特定次数の回折光同士を干渉させて、各回折格子での回折の次数の和が0である軸上干渉光と、該和が0でない数となる軸外干渉光とを生じさせる回折光干渉手段と、上記回折光干渉手段の複数の箇所から射出する複数の軸上干渉光,及び軸外干渉光の各々の位相を調整する位相調整手段と、上記回折光干渉手段の複数の箇所から出力される、上記位相調整手段により各々その位相を調整された、上記複数の軸上干渉光,及び軸外干渉光のうち各々の受光部に向かうものを受光し、検出する複数の受光部、とを備えたことを特徴とする光学式エンコーダ。
IPC (3件):
G01D 5/38 ,  G02B 5/18 ,  G02B 5/30
FI (3件):
G01D 5/38 A ,  G02B 5/18 ,  G02B 5/30

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