特許
J-GLOBAL ID：200903073685244880
マイクロ波による放電発生方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-206018
公開番号（公開出願番号）：特開平7-057894
出願日： 1993年08月20日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 空胴共振器の寸法を変えることなく基板の寸法等の変化等、諸条件を変更しても安定な放電を確保するとともに放電管の過度の加熱を防止し得るマイクロ波による放電発生法及び装置を提供する。【構成】 空胴共振器1の内壁と放電管2の間を誘電体6で満たし、ガス条件や基板11の変更に際して、空胴共振器1の共振周波数とマグネトロン5によるマイクロ波発振周波数が一致する様に、誘電体6を異なる誘電率のものに入れかえるとともに、液体の誘電体6を使用する場合には、これを空胴共振器1の外から導入し、空胴共振器1の内壁と放電管2の間を流して、空胴共振器1の外に排出するように構成したものである。
請求項（抜粋）：
空胴共振器中に挿入した放電管内のガスを、マイクロ波により放電させるマイクロ波による放電加工方法において、放電管の外周面との間の空胴共振器の内部に誘電体を入れ換え可能に充満し、この誘電体の誘電率を選択することにより空胴共振器の共振周波数を調整することを特徴とするマイクロ波による放電加工方法。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, C23C 16/50
, H05H 1/30
