特許
J-GLOBAL ID:200903073689851676
高周波特性の測定装置及び高周波特性の測定方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡本 啓三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-146322
公開番号(公開出願番号):特開平7-005218
出願日: 1993年06月17日
公開日(公表日): 1995年01月10日
要約:
【要約】【目的】本発明は、減圧された又は不活性ガスが導入された測定室内部に測定すべき複数の被測定物を搬入し、被測定物の高周波特性の測定や温度特性の測定を行う高周波特性の測定装置に関し、複数の被測定物を測定する場合でも、周囲の環境条件を一定の状態に保持することにより、測定精度の向上を図ることが可能な高周波特性の測定装置の提供を目的とする。【構成】減圧される又は不活性ガスが導入される測定室1内に固定された筒状の空洞共振器4と、空洞共振器4の筒壁に形成された電磁波の入口5に接続され、空洞共振器4内部に電磁波を導く入口側導波管7aと、空洞共振器4の筒壁に形成された電磁波の出口6に接続され、被測定物からの測定情報が載った電磁波を空洞共振器4内部から測定室1の外部へ導く出口側導波管7bと、複数の被測定物を保持し、空洞共振器4の筒の端面の開口部であって被測定物の測定位置に一の被測定物を順次搬送する移動可能な被測定物載置板8とを含み構成する。
請求項(抜粋):
減圧される又は不活性ガスが導入される測定室と、該測定室内に固定された筒状の空洞共振器と、該空洞共振器の筒壁に形成された電磁波の入口に接続され、前記空洞共振器内部に電磁波を導く入口側導波管と、前記空洞共振器の筒壁に形成された電磁波の出口に接続され、被測定物からの測定情報が載った電磁波を前記空洞共振器内部から前記測定室の外部へ導く出口側導波管と、複数の被測定物を保持し、前記空洞共振器の筒の端面の開口部であって被測定物の測定位置に一の被測定物を順次搬送する移動可能な被測定物載置板とを有する高周波特性の測定装置。
IPC (2件):
G01R 27/02 ZAA
, G01R 31/00 ZAA
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