特許

J-GLOBAL ID：200903073697515944

表面形状検出用センサ及びその製造方法

発明者： 有賀 英吉 ,  横沢 満雄
出願人/特許権者： 株式会社三協精機製作所
代理人 (1件)： 村瀬 一美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-039386
公開番号（公開出願番号）：特開平11-238156
出願日： 1998年02月20日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：

【要約】【課題】 被測定物の表面の凹凸形状を非接触で検出する。被測定物と検出手段との一度の相対移動で被測定物の表面全体の凹凸形状を検出する。精度の高い表面形状検出用センサの製造方法を提供する。【解決手段】 一枚の共通の基台2上に、所定の間隔で離間配列した多数の棒状コア3の先端が同一平面上となるように配置するとともに、多数の棒状コア3の先端を磁界中において凹凸のある金属製の被測定物10表面に配列方向とは直交する方向に相対移動可能に対向させ、棒状コア3のそれぞれに被測定物10の凹凸形状に起因して変化する磁束を検出するための検出手段5を設けるようにしている。

請求項（抜粋）：

一枚の共通の基台上に、所定の間隔で離間配列した多数の棒状コアの先端が同一平面上となるように配置するとともに、前記多数の棒状コアの先端を磁界中において凹凸のある金属製の被測定物表面に前記配列方向とは直交する方向に相対移動可能に対向させ、前記棒状コアのそれぞれに前記被測定物の前記凹凸形状に起因して変化する磁束を検出するための検出手段を設けてなることを特徴とする表面形状検出用センサ。