特許
J-GLOBAL ID：200903073705773842
磁束検出用コイルおよび磁束検出プローブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-328808
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166653
出願日： 1995年12月18日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】磁束検出用コイルにおいて電界の影響を除去し、高い空間分解能による磁束検出を可能ならしめる。【解決手段】微小なループ状部分15とこれに連なる2つの端子部15A,15Bが近接したループと、微小なループ状部分16とこれに連なる2つの端子部16A,16Bが近接したループとの1対を、互いに近接させて線対称的に配置したパターンを、絶縁性ウエハ17の面上に導電性の薄膜パターンとして形成したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
微小なループ状部分とこれに連なる2つの端子部が近接したループを1対、互いに近接させて線対称的に配置したパターンを、絶縁性ウエハの面上に導電性の薄膜パターンとして形成したことを特徴とする磁束検出用コイル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 33/02 B
, G01R 29/08 D
