特許
J-GLOBAL ID：200903073708105875
プローブカード及び検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-111179
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283575
出願日： 1996年04月09日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハ上の各チップの電極がX方向とY方向とに配置されている場合に、少数回の接触でウェーハ上のすべてのチップに接触可能にする。【解決手段】 基台28の中央に矩形の開口30があり、その周囲に取り付け枠32が固定されている。この取り付け枠32に、X方向に延びる複数の第1支持体34と、Y方向に延びる複数の第2支持体36とが格子状になるように固定されている。ウェーハの各チップには、その四辺に沿って電極が形成されている。チップ上のX方向に延びる電極には第1支持体34のプローブ針が接触し、Y方向に延びる電極には第2支持体36のプローブ針が接触する。最初の同時接触で、偶数列に属する全てのチップを同時に検査でき、その後、プローブカードに対してウェーハをチップ幅分だけ移動させると、奇数列に属する全てのチップを同時に検査できる。これにより、2回の同時接触で全てのチップの検査が完了する。
請求項（抜粋）：
ウェーハ上の多数の集積回路チップを検査するためのプローブカードにおいて、次の構成を有するプローブカード。(イ)このプローブカードは、X方向に延びる第1支持体を備える複数の第1プローブユニットと、前記X方向に垂直なY方向に延びる第2支持体を備える複数の第2プローブユニットと、第1プローブユニット及び第2プローブユニットを支持する基台と、第1プローブユニット及び第2プローブユニットと基台上の外部端子とを接続する配線板とを備える。(ロ)前記第1プローブユニットと第2プローブユニットは格子状に配置されている。(ハ)前記第1プローブユニットの第1支持体に、複数の集積回路チップの電極のうちX方向に配列された複数の電極に同時に接触可能な多数のプローブ針と、前記ウェーハの表面に対して垂直方向に延びる配線板とが取り付けられている。(ニ)前記第2プローブユニットの第2支持体に、複数の集積回路チップの電極のうちY方向に配列された複数の電極に同時に接触可能な多数のプローブ針と、前記ウェーハの表面に対して垂直方向に延びる配線板とが取り付けられている。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/26
H01L 21/66 B
, H01L 21/66 E
, G01R 1/073 E
, G01R 31/26 J
