特許

J-GLOBAL ID：200903073709496010

研磨面の検出判定方法

発明者： 小蔦 新也 ,  土田 泰規
出願人/特許権者： 大同特殊鋼株式会社
代理人 (1件)： 佐田 守雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-169054
公開番号（公開出願番号）：特開2002-365025
出願日： 2001年06月05日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】【課題】 目視によることなく、自動的に研磨面を判定することができて、判定の省力化を図ることができる研磨面の検出判定方法を提供すること。【解決手段】 研磨面のすじに沿う斜め上方から光を照射し、その乱反射光を研磨面と対向する位置に配置したカメラ2で捉えて、粗研磨では乱反射のない画素数が規定値以上のとき、仕上げ研磨では乱反射光の画素数が規定値以上のときに不適と判定することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

研磨面のすじに沿う斜め上方から光を照射し、その乱反射光を研磨面と対向する位置に配置したカメラで捉えて、粗研磨では乱反射のない画素数が規定値以上のとき、仕上げ研磨では乱反射光の画素数が規定値以上のときに不適と判定することを特徴とする研磨面の検出判定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/95 ,  B23Q 17/24

FI (3件)：

G01B 11/30 A ,  G01N 21/95 Z ,  B23Q 17/24 A

Fターム (20件)：

2F065AA49 ,  2F065DD06 ,  2F065GG02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ51 ,  2F065SS04 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AB07 ,  2G051AB20 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051GC04 ,  3C029CC02 ,  3C029CC10