特許
J-GLOBAL ID:200903073712395870
磁気ディスク用基板の把持具
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
谷 義一 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-325385
公開番号(公開出願番号):特開2003-132529
出願日: 2001年10月23日
公開日(公表日): 2003年05月09日
要約:
【要約】【課題】 端面研削加工時におけるデータ面へのキズの発生を防止し、後工程を簡略化できると共に高記憶密度の磁気ディスク記憶媒体を廉価に製造できる磁気ディスク用基板の加工方法を提供する。【解決手段】 磁気ディスク用基板の端面加工を行う際、該磁気ディスク用基板を回転可能に挟持するテーブル及びクランパーを備える基板把持具において、前記テーブル及び前記クランパーの前記磁気ディスク用基板との接触面に厚さ0.5μm以上20μm以下の無電解Niめっきを施したことを特徴とする。
請求項(抜粋):
磁気ディスク用基板の端面加工を行う際、該磁気ディスク用基板を回転可能に挟持するテーブル及びクランパーを備える基板把持具において、前記テーブル及び前記クランパーの前記磁気ディスク用基板との接触面に厚さ0.5μm以上20μm以下の無電解Niめっきを施したことを特徴とする磁気ディスク用基板の把持具。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (7件):
5D006CB04
, 5D006CB07
, 5D006DA03
, 5D112AA02
, 5D112BA03
, 5D112BA09
, 5D112EE01
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