特許
J-GLOBAL ID：200903073716546821
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
沼形 義彰 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-331700
公開番号（公開出願番号）：特開平9-171033
出願日： 1995年12月20日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【課題】 半導体技術を用いた加速度センサにおいて、量産に適するとともに、小型で精度の高い加速度センサを得る【解決手段】 固定部13と、下面に突出するとともに錘体21が接合された作用部11と、これら固定部13と作用部11とを接続し複数の抵抗素子15を上面に設けた可撓部とを備え、錘体21の下面には内部になるにしたがって開口面積が小さくなる穴23を設け、この穴23の底面にこの底面とほぼ同形状の面を有する比重の大きな第2の錘24を設けた加速度センサ。
請求項（抜粋）：
固定部と、加速度により力を受ける作用部と、これら固定部と作用部とを接続すると共に感歪素子を備える可撓部とを有する加速度センサにおいて、前記作用部に、内部へ向かって狭くなる傾斜した側壁を有する有底状の穴を有する第1の錘と、該穴の底面に第1の錘よりも比重の大きな第2の錘が接合されたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/12
, G01P 15/02
, H01L 29/84
G01P 15/12
, G01P 15/02 A
, H01L 29/84 A
