特許
J-GLOBAL ID:200903073730897203

ガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三枝 英二 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-061327
公開番号(公開出願番号):特開平10-253567
出願日: 1997年03月14日
公開日(公表日): 1998年09月25日
要約:
【要約】【課題】操作温度が低く、感度が良好で、選択性に優れ、メンテナンスが容易であるガスセンサを提供することを主な目的とする。【解決手段】1.金属基板上に絶縁性極薄膜および導電性材料からなるガス透過性電極を順次形成したガスセンサ。
請求項(抜粋):
金属基板上に絶縁性極薄膜および導電性材料からなるガス透過性電極を順次形成したガスセンサ。
FI (2件):
G01N 27/12 A ,  G01N 27/12 Z
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭59-131152
  • 特開平2-238352

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