特許
J-GLOBAL ID：200903073731860893
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-363025
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271066
出願日： 1998年12月21日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：
【要約】【課題】 駆動と検出とを別個の梁にて行う振動子を備える角速度センサにおいて、駆動用梁部から検出用梁部への振動漏れを抑制するとともに、駆動用梁部からのコリオリ力による振動エネルギーを検出用梁部に効率良く伝達し、高S/Nなセンサを得る。【解決手段】 振動部材Gは、一対の梁部2、3及び連結部4を有する略U字形状の駆動用振動子1と、一対の梁部6、7及び連結部8を有する略U字形状を成し駆動用振動子1の外周側に相似形に配置された検出用振動子5とを備え、駆動用振動子1には、梁部2、3をy軸方向へ逆相に励振するための駆動電極20が、検出用振動子5には、z軸回りの角速度入力時の梁部6、7のx軸方向への逆相の振動を検知するための検出電極22〜24が設けられている。両振動子1、5は、y軸方向の幅が内側の駆動用振動子1のy軸方向の幅よりも狭い形状を有するトーションビーム9によって連結されている。
請求項（抜粋）：
xyz直交座標系において、z軸方向に延びる一対の第1の梁部(2、3)と、前記一対の第1の梁部を連結する第1の連結部(4)とを有する略U字形状の第1の振動子(1)と、z軸方向に延びる一対の第2の梁部(6、7)と、前記一対の第2の梁部を連結する第2の連結部(8)とを有する略U字形状をなすとともに、このU字形状の内周が前記第1の振動子のU字形状の外周側に位置するように配置された第2の振動子(5)と、片端部が前記第1の連結部に、他端部が前記第2の連結部にそれぞれ固定されるとともに、前記第1の連結部から前記第1の梁部とは反対方向に延びて前記両振動子を連結するトーションビーム(9)とを備え、前記トーションビームの幅は、前記トーションビームと前記第1の連結部との接している箇所におけるy軸方向の幅が前記第1の振動子のy軸方向の幅よりも狭い形状を有しており、前記第1及び第2の振動子のうち一方を駆動用振動子(1)、他方を検出用振動子(5)とし、前記駆動用振動子には、前記駆動用振動子の梁部(2、3)をy軸方向へ逆相に励振して駆動振動させるための駆動手段(20、60、61、320、420)が設けられ、前記検出用振動子には、z軸回りの角速度入力時に発生する前記検出用振動子の梁部(6、7)のx軸方向への逆相の振動を検知振動として検知して前記角速度を検出するための角速度検出手段(22〜24、63、64、322、323、422)が設けられていることを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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