特許

J-GLOBAL ID：200903073731986617

ダストモニタ

発明者： 大村 耕治 ,  西野 廣 ,  青柳 省三 ,  佐々木 光彦
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-268127
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097909
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】 流速計の購入や設置工数のコスト削減を図ることができ、また、プローブを高温流路に水平に設置する場合に生じるプローブの変形を防止して測定誤差の少ないダストモニタを提供する。【解決手段】 流路を流れる気体中にプローブを挿入し、気体に含まれるダストが前記プローブの表面に衝突することによって生ずる摩擦電気を検出して気体中のダストの濃度変化を検出するダストモニタにおいて、前記プローブに気体の流速を測定する手段を付加した。また、プローブの材質を導電性セラミックとしたり、プローブを絶縁性セラミックとしその上を導電性金属で被覆する構成とした。

請求項（抜粋）：

流路を流れる気体中にプローブを挿入し、気体に含まれるダストが前記プローブの表面に衝突することによって生ずる摩擦電気を検出して気体中のダストの濃度変化を感知するダストモニタにおいて、前記プローブに気体の流速を測定する流速計測手段を付加したことを特徴とするダストモニタ。

IPC (2件)：

G01N 27/60 ,  G01N 15/06

FI (3件)：

G01N 27/60 C ,  G01N 15/06 D ,  G01N 15/06 A