二次イオン質量分析装置用試料ホルダ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-076099
公開番号（公開出願番号）：特開平9-265932
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】二次イオン質量分析(SIMS)装置に使用される、同時に複数個の試料を装填可能な試料ホルダにおいて、試料表面間の傾きを押さえて測定表面の平坦性を保持し、濃度定量性の精度を向上させる。【解決手段】測定試料を複数個同時に装填可能な二次イオン質量分析装置の試料ホルダにおいて、試料ホルダ表面に存在する測定窓付き薄板(表面薄板)の平面性を保つために、試料ホルダ台開孔部に、表面薄板12を固定可能な固定部を設け、表面薄板をこの薄板周辺部での固定と共にホルダ台の固定部に固定する。

請求項（抜粋）：

二次イオン質量分析装置に使用する、測定試料を複数個同時に装填可能な試料ホルダにおいて、試料ホルダ表面に存在する測定窓付き薄板(表面薄板)の平面性を保つための固定部を有することを特徴とする二次イオン質量分析装置用試料ホルダ。

IPC (6件)：

H01J 37/20 , G01N 1/28 , G01N 23/225 , G01N 27/62 , H01J 37/317 , H01J 49/04

FI (6件)：

H01J 37/20 A , G01N 23/225 , G01N 27/62 F , H01J 37/317 B , H01J 49/04 , G01N 1/28 W

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開平4-106851

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