特許

J-GLOBAL ID：200903073748362900

位置決めテーブル

発明者： 稲垣 典之 ,  服部 徹
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-003480
公開番号（公開出願番号）：特開平8-190430
出願日： 1995年01月12日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【目的】 安価で小型で高速位置決め可能な位置決めテーブルを提供する。【構成】 載置平面を有するテーブル1と、テーブル1をその載置平面と平行な一平面内で移動自在に支持する手段と、テーブル1の周縁から突出するように配設された垂直軸芯回りに回転自在な3個のローラ5a〜5cと、各ローラ5a〜5cに各々当接配置され、テーブル1に対して遠近方向に移動自在なスライドブロック6a〜6cと、各スライドブロック6a〜6cに当接配置された回転カム7a〜7cとを備え、2つのスライドブロック6a、6bは平行で、これに対して他の1つのスライドブロック6cが垂直となるようにローラ5a〜5c、スライドブロック6a〜6c及び回転カム7a〜7cを配設した。

請求項（抜粋）：

載置平面を有するテーブルと、テーブルをその載置平面と平行な一平面内で移動自在に支持する支持手段と、テーブルの周縁から突出するように配設された垂直軸芯回りに回転自在な3個のローラと、各ローラに各々当接配置されかつテーブルに対して遠近方向に移動自在なスライドブロックと、各スライドブロックのローラとの当接端とは反対側端に当接配置された回転カムとを備え、2つのスライドブロックは平行で、これに対して他の1つのスライドブロックが垂直となるようにローラ、スライドブロック及び回転カムを配設したことを特徴とする位置決めテーブル。

IPC (4件)：

G05D 3/00 ,  B23Q 1/25 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 515 G ,  B23Q 1/02 T

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特公平4-081211
  
• 特開昭59-072727
  
• 特開昭62-169076
  
• 特開平1-242989