特許

J-GLOBAL ID：200903073748809190

化学的・機械的研磨用の複数酸化剤スラリー

発明者： ブラスタ ブラシック カフマン ,  シュミン ウォン
出願人/特許権者： キャボット コーポレイション
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-258500
公開番号（公開出願番号）：特開平10-226784
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】 (修正有)【解決手段】尿素と1種以上の第2酸化剤を含む化学的・機械的研磨用スラリーの前駆体組成物であって、所望により有機酸と研磨材をさらに含む。また2種以上の酸化剤、有機酸及び研磨材を含む研磨用スラリー、尿素-過酸化水素、第2酸化剤、及び研磨材を含む研磨用スラリー。さらに本前駆体から研磨用スラリーを調製する方法、及びチタン、窒化チタン、アルミニウム含有合金層を基板から除去するために本組成物を使用する方法。【効果】尿素-過酸化水素(urea hydrogen peroxide)を含む単一の化学的・機械的研磨用スラリーは酸化剤として作用することに加え、過酸化水素の単独よりも安定性が高く、付加的な酸化剤のような他のスラリー成分を安定化させる。

請求項（抜粋）：

水系媒体、研磨材、約0.2〜約10.0重量%の第1酸化剤、約0.5〜約10.0重量%の第2酸化剤、及び約0.5〜約15.0重量%の少なくとも1種の有機酸を含んでなり、pHが約2.0〜約8.0であることを特徴とする化学的・機械的研磨用スラリー組成物。

IPC (3件)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/00 109 ,  C09K 13/06 101

FI (3件)：

C09K 3/14 550 Z ,  C09K 3/00 109 ,  C09K 13/06 101