特許
J-GLOBAL ID：200903073750841808
カセットの搬送および保管方法ならびに該方法に用いる搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-269851
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115996
出願日： 1995年10月18日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】 ガラス基板に搬送中の振動が直接伝わるのを防ぐとともに、天井から吹き出した清浄な空気が基板表面に当たるようにすることができるカセットの搬送および保管方法を提供する。【解決手段】 ダウンフロー方式のクリーンルーム内で基板にTFTアレイを形成させる製造工程において、前記基板を複数枚収納したカセット1を搬送および保管するとき、前記基板4を垂直方向に対して10°から30°の範囲内で傾ける。
請求項（抜粋）：
ダウンフロー方式のクリーンルーム内で基板にTFTアレイを形成させる製造工程において、前記基板を複数枚収納したカセットを搬送および保管するとき、前記基板を垂直方向に対して10°から30°の範囲内で傾けることを特徴とするカセットの搬送および保管方法。
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, H01L 21/68 A
