特許

J-GLOBAL ID：200903073753159536

液浸式露光装置

発明者： 中村 卓
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-181261
公開番号（公開出願番号）：特開2005-019616
出願日： 2003年06月25日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：

【課題】従来の液浸式露光装置は投影光学系終端部と露光基板の間の液膜の維持が困難であった。【解決手段】液浸式露光装置において、投影光学系終端部と露光基板の間の液膜の消失を検知する液膜検知手段を有する構成とした。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

マスクのパターンを基板に投影する投影光学系を有し、該投影光学系終端部と前記基板との間の所定の領域に液膜を形成して露光を行なう露光装置において、 前記液膜の少なくとも一部の消失を検知する液膜検知手段を有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (3件)：

H01L21/30 516A ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D

Fターム (8件)：

5F046BA03 ,  5F046CB01 ,  5F046CB25 ,  5F046DA12 ,  5F046DB11 ,  5F046DB14 ,  5F046DC09 ,  5F046DC10