特許

J-GLOBAL ID：200903073755562028

光学顕微鏡

発明者： 岡本 陽一 ,  三木 智之 ,  森脇 武
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-329412
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160306
出願日： 1994年12月02日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】 試料の外観を観察することができると共に、深度に関する情報が得られ、かつ、比較的安価な光学顕微鏡を提供する。【構成】 共焦点に配置した一次元イメージセンサ19の長手方向Yに対応する1方向にのみレーザ光L1を走査して、1つの断面における深さ情報を得る。

請求項（抜粋）：

レーザ光を対物レンズにより試料の表面に集光すると共に、その反射光を検出器表面に集光して受光させて、上記反射光の強度に基づいて試料の深度に関する情報を検出する共焦点光学系と、この共焦点光学系における試料に対する集光位置を走査する走査機構と、上記レーザ光とは異なる観察用光源からの光で試料の外観を観察するための観察用光学系とを備えた光学顕微鏡において、上記共焦点光学系の検出器として一次元イメージセンサを配設し、上記走査機構として上記一次元イメージセンサの長手方向に対応する方向にのみ試料への集光位置を一次元的に走査する一次元走査機構を備えたことを特徴とする光学顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• レーザ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-223133   出願人：住友電気工業株式会社
• 顕微鏡システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-021007   出願人：オリンパス光学工業株式会社