特許
J-GLOBAL ID：200903073757880418
洗浄方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-285295
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129266
出願日： 1991年10月31日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【構成】本発明は、超音波が印加されラインノズル方式により噴射された洗浄水が、被洗浄物に射突する直線状位置が被洗浄物の搬送方向に対して直交する方向から所定量傾斜するようにしたようにしたものである。【効果】本発明は、洗浄液は、被洗浄物上にて、被洗浄物の搬送方向に平行な方向に流れるとともに、横方向にも流れる。したがって、この発明によれば、微細なパーティクルを、被洗浄物の表面に、例えばリソグラフィーなどによる電気回路パターンなどからなる無数の段差が存在していても、微細なパーティクルをこれら段差部分に滞留させることなく、確実かつ高能率に除去することができる。
請求項（抜粋）：
スリット状の開口部から洗浄液を被洗浄物に向って噴射する洗浄液噴射工程と、上記被洗浄物をその被洗浄面に平行な直線方向に相対的に搬送する工程と、この洗浄液噴射工程にて噴射された洗浄液に超音波を印加する超音波印加工程とを具備し、上記洗浄液の上記被洗浄物に射突する直線状位置を上記被洗浄物の搬送方向に対して直交する方向から傾斜させて上記洗浄液を噴射することを特徴とする洗浄方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/12
