特許

J-GLOBAL ID：200903073764152452

電子写真感光体の膜厚測定装置および膜厚測定方法、電子写真感光体の製造装置および製造方法

発明者： 本田 早苗 ,  伊藤 和哉 ,  鈴木 孝尚 ,  石河 勇
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 石井 康夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-002364
公開番号（公開出願番号）：特開平11-201730
出願日： 1998年01月08日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】 電子写真感光体に形成した測定対象層の膜厚を精度よく測定できる電子写真感光体の測定装置および測定方法を提供する。【解決手段】 測定対象層までが形成された電子写真感光体1に対し、検出エリア2に光源6からの光を光ファイバ5およびプローブ4を経由して照射し、検出エリア2からの反射光をプローブ4および光ファイバ5を経由して分光光度計7の分光器に結像させ、分光特性としてのスペクトルを得る。得られたスペクトルからピーク波長検出部9でピーク波長を検出する。そして膜厚演算部10で、予め検量線記憶部11に記憶されている検量線にピーク波長を代入し、測定対象層の膜厚を測定する。

請求項（抜粋）：

導電性基体上に複数の層を積層してなる電子写真感光体の膜厚測定装置において、少なくとも測定対象となる層が形成された電子写真感光体の表面に光を照射し反射光の分光特性を検出する分光特性検出手段と、該分光特性検出手段で検出した前記分光特性の波形から反射光がピークとなるピーク波長を検出するピーク波長検出手段と、該ピーク波長検出手段で検出した前記ピーク波長とあらかじめ求めた検量線から前記測定対象となる層の膜厚を得る演算手段を有することを特徴とする電子写真感光体の膜厚測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/06 ,  G03G 5/00 101

FI (2件)：

G01B 11/06 Z ,  G03G 5/00 101