特許
J-GLOBAL ID：200903073771827015
処理ユニット構築体
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小山 有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-069392
公開番号（公開出願番号）：特開2000-269297
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】 複数の処理ユニットを連設した処理ユニット構築体のメンテナンスを処理ユニットをスライドさせずに行う。【解決手段】 ユーティリティーユニット3は全体が処理ブロックと同一の直方体をなすようにフレーム31にて囲まれ、下部は重量物である電源ボックス32や配管、配線用の空間とし、中段には隣接する処理ブロックとの間で半導体ウェーハ等の被処理物の受け渡しを行う搬送ユニット33を配置し、更に搬送ユニット33の上方には、薬液瓶や交換用の部品等を載置しておく棚34を設け、メンテナンスの際には、処理ユニット2,2間のスペースにユーティリティーユニット3を配置していない側から作業員が入るようにしている。
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハやガラス基板等の板状被処理物に対し一連の処理を行う処理ユニット構築体であって、この処理ユニット構築体は複数の処理ユニットと処理ユニット間での板状被処理物の受け渡しを行う搬送ユニットとユーティリティーユニットから構成され、前記処理ユニットは複数の処理装置を上下方向に段積みした一対の処理ブロックの間に移し換え装置を配置してなり、また前記搬送ユニットと前記ユーティリティーユニットは前記処理ユニットの間に配置されていることを特徴とする処理ユニット構築体。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/30 502 J
, H01L 21/30 562
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031FA01
, 5F031FA02
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031FA13
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031MA02
, 5F031MA26
, 5F031MA27
, 5F046CD05
, 5F046CD06
, 5F046DA09
, 5F046JA22
, 5F046KA07
, 5F046LA18
