特許

J-GLOBAL ID：200903073784576682

フーリエ分光器

発明者： 南光 智昭 ,  田名網 健雄 ,  御厨 健太
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-004116
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209085
出願日： 1994年01月19日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】 移動鏡の耐振性が高く、小電力であるフーリエ分光器を実現する。【構成】 光源の出力光を2つの光路に分け、それぞれの光路長を変化させることにより干渉を生じさせるフーリエ分光器において、光路長を変化させる移動鏡と、移動鏡の位置を検出する位置検出手段と、この位置検出手段の出力に基づき移動鏡の位置を制御する駆動制御手段とを設ける。また、移動鏡を支持する板バネと、位置検出手段の出力に基づき移動鏡と板バネとで構成されるバネ系の固有振動数で駆動することにより移動鏡の位置を制御する駆動制御手段とを設ける。

請求項（抜粋）：

光源の出力光を2つの光路に分け、それぞれの光路長を変化させることにより干渉を生じさせるフーリエ分光器において、前記光路長を変化させる移動鏡と、前記移動鏡の位置を検出する位置検出手段と、この位置検出手段の出力に基づき前記移動鏡の位置を制御する駆動制御手段とを備えたことを特徴とするフーリエ分光器。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-234318
  
• 特開昭60-022633