鏡面、非鏡面物における表面の変位測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：早川政名 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-066776
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258227
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】光路長を測定可能なレーザ距離計を使用することにより、被測定物の測定表面が鏡面から拡散反射面に変化しても、レーザ距離計と被測定物の測定表面の位置を非接触状態にて合理的に測定することにある。【解決手段】レーザ距離計1のレーザ光を被測定物3の測定表面に対して傾斜させた状態とし、反射板2は平らな拡散反射面とし、被測定物3の表面が鏡面である時に、レーザ距離計1からのレーザ光を受光できる位置に設置し、レーザ距離計1には測定した光路長の値を被測定物3の表面との距離に演算して変換する演算装置4を連絡する。

請求項（抜粋）：

光路長を測定し得るレーザ距離計を、被測定物の測定表面から所定の距離を置いて設けると共に、該レーザ距離計から照射されるレーザ光が、上記被測定物の測定表面と直交する法線に対して所定の傾斜角度を介して被測定物の測定表面に照射されるように設置し、且つ、上記被測定物の測定表面から上記レーザ光の正反射方向へ向けて所定の距離を置いた位置に、反射面が拡散反射面である反射板を所定の角度にて設置し、上記測定表面の距離変位を測定する際において、上記被測定物の測定表面が拡散反射面である場合、上記レーザ距離計から照射したレーザ光が被測定物の測定表面で拡散反射することに基づいて、同レーザ距離計から被測定物の反射位置までの光路長を求め、且つ、上記被測定物の測定表面が鏡面である場合、上記レーザ距離計から照射したレーザ光が被測定物の測定表面で正反射して反射板の反射面に向かい、その反射面にて拡散反射することに基づいて、レーザ距離計から被測定物の反射位置までの光路長と、被測定物の反射位置から反射板の反射位置までの光路長とを加算した全光路長を求め、上記した光路長若しくは全光路長に基づいて演算装置により演算処理することにより、被測定物の測定表面の距離変位を連続的に測定するように構成した鏡面、非鏡面物における表面の変位測定装置。

IPC (3件)：

G01F 23/28 , G01B 11/00 , G01C 3/06

FI (3件)：

G01F 23/28 J , G01B 11/00 B , G01C 3/06 A

Fターム (22件)：

2F014AC06 , 2F014FA01 , 2F065AA09 , 2F065BB25 , 2F065BB26 , 2F065FF11 , 2F065FF44 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065JJ02 , 2F065JJ05 , 2F065JJ07 , 2F065JJ14 , 2F065JJ16 , 2F065JJ25 , 2F065KK01 , 2F065PP22 , 2F065QQ27 , 2F112AA05 , 2F112CA13 , 2F112DA25

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